特許
J-GLOBAL ID:200903025277832249

蒸発装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石原 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-243743
公開番号(公開出願番号):特開2001-062376
出願日: 1999年08月30日
公開日(公表日): 2001年03月13日
要約:
【要約】【課題】 熱硬化性樹脂の蒸発を効率良く行い、安定した熱硬化性樹脂の蒸気の供給を行うことができる樹脂蒸発装置を提供する。【解決手段】 真空状態の蒸発室4内で液状の熱硬化性樹脂3を蒸発板1上に滴下させ、前記蒸発板1上の熱硬化性樹脂3を加熱して蒸発させる樹脂蒸発装置において、蒸発板1上に滴下した熱硬化性樹脂3を蒸発板1上に薄く広げて膜状態とする塗布手段5、8を設けたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
真空状態の蒸発室内で液状の熱硬化性樹脂を蒸発板上に滴下させ、前記蒸発板上の熱硬化性樹脂を加熱して蒸発させる樹脂蒸発装置において、蒸発板上に滴下した熱硬化性樹脂を蒸発板上に広げて膜状態とする塗布手段を設けたことを特徴とする蒸発装置。
IPC (3件):
B05C 11/08 ,  C23C 14/06 ,  H01G 13/00 391
FI (3件):
B05C 11/08 ,  C23C 14/06 Q ,  H01G 13/00 391 C
Fターム (26件):
4F042AA06 ,  4F042DD07 ,  4F042DD20 ,  4F042DD22 ,  4F042EB08 ,  4F042EB30 ,  4K029BA03 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB15 ,  5E082AB03 ,  5E082BC40 ,  5E082EE05 ,  5E082EE23 ,  5E082EE24 ,  5E082EE37 ,  5E082FG03 ,  5E082FG34 ,  5E082FG42 ,  5E082LL01 ,  5E082MM11 ,  5E082MM23 ,  5E082MM24

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