圧電体素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-271085
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108951
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】加速度センサのバイモルフ型圧電素子の特性のばらつきを減少させ、劣化の少ない、小型にしても高感度の加速度センサ用圧電体素子を提供する。【解決手段】基板の両面に圧電体層を有する加速度を検出するバイモルフ型圧電素子において、素子を支持する部分を、素子の基板と一体化させることにより、支持部位を接着剤で直接接着することを必要としない構造とした。圧電体層は、水熱合成で形成されることが好ましく、基板としては、素子の特性に合うよう様々な材料から選択できる。

請求項（抜粋）：

加速度センサの加速度を検出する、基板の両面に圧電体層を有するバイモルフ型圧電素子において、素子を支持する部分が、素子の基板と一体化していることを特徴とする加速度センサ用圧電体素子。

IPC (3件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08 , H01L 41/09

FI (3件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08 Z , H01L 41/08 M

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