特許
J-GLOBAL ID：200903025278749450
ウエ-ハ剥離装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 清子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353056
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166771
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】 プレ-ト上に貼付けられたウエ-ハをプレ-トから剥離して回収する。【構成】 プレ-トを保持するチャックを水平状態と傾斜状態に移動可能に設ける。チャックは、水平状態でプレ-トを受け取って保持する。その後、チャックは傾斜する。この傾斜状態でスクレ-パによりウエ-ハをプレ-ト面から剥す。ウエ-ハは、プレ-ト面を滑ってカセット内に収納される。すべてのウエ-ハがプレ-トから剥離されたら、チャックはもとの水平状態に復帰し、プレ-トは搬出される。
請求項（抜粋）：
ウエ-ハが貼付されたプレ-トを保持するチャック、該チャックの上方に設けられ上記プレ-トからウエ-ハを剥離するスクレ-パ、上記チャックの支承面より下方に設けられたカセット収納部を有し、上記スクレ-パにより剥離されたウエ-ハが上記カセット内に滑り込むよう上記プレートを保持したチャックの支承面を水平位置から上記カセット方向に傾斜させる移動手段を具備することを特徴とするウエ-ハ剥離装置。
引用特許：
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