特許
J-GLOBAL ID:200903025280748160
セラミック積層体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-284606
公開番号(公開出願番号):特開2004-114632
出願日: 2002年09月30日
公開日(公表日): 2004年04月15日
要約:
【課題】従来、セラミック積層体の製造においては、有機バインダ,可塑剤,有機溶剤等を成分とする密着液をセラミックグリーンシートに塗布して積層していたが、密着液によりセラミックグリーンシートが軟化し、加圧積層することによりセラミック積層体に大きな変形が発生するという問題があった。【解決手段】セラミックグリーンシート4の積層において、樹脂フィルム3の主面に形成した接着剤層1をセラミックグリーンシート4に転写し、この接着剤層1が形成されたセラミックグリーンシート4を積層してセラミックグリーンシート積層体を作製し、焼成することによって、セラミック積層体を得る。セラミックグリーンシート4全体が軟化するのを防止でき、得られるセラミックグリーンシート積層体およびセラミック積層体の変形を抑制することができる。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
樹脂フィルムの主面に接着剤層を形成した接着シート、およびセラミックグリーンシートを準備する工程と、前記接着シートの前記接着剤層を前記セラミックグリーンシートの主面に転写する工程と、前記接着剤層が転写された複数枚の前記セラミックグリーンシートを間に前記接着剤層を介在させて積層し、加圧することによって、セラミックグリーンシート積層体を作製する工程と、前記セラミックグリーンシート積層体を焼成する工程とを具備することを特徴とするセラミック積層体の製造方法。
IPC (4件):
B32B18/00
, H01G4/12
, H01L23/12
, H05K3/46
FI (4件):
B32B18/00 A
, H01G4/12 364
, H05K3/46 H
, H01L23/12 D
Fターム (29件):
4F100AD00A
, 4F100AD00B
, 4F100BA02
, 4F100BA13
, 4F100CB00
, 4F100EJ202
, 4F100EJ483
, 4F100GB41
, 4F100JL11
, 5E001AB03
, 5E001AH05
, 5E001AH09
, 5E001AJ02
, 5E346AA12
, 5E346AA38
, 5E346BB01
, 5E346CC17
, 5E346CC31
, 5E346DD02
, 5E346DD34
, 5E346EE24
, 5E346EE29
, 5E346EE30
, 5E346FF18
, 5E346GG03
, 5E346GG06
, 5E346GG08
, 5E346GG09
, 5E346HH11
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭62-032046
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特開昭63-183840
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特開昭61-018197
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