特許

J-GLOBAL ID：200903025281534252

磁気センサ及び磁気センサモジュール

発明者： 佐々木 寛充
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (2件)： 野▲崎▼ 照夫 ,  三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-152721
公開番号（公開出願番号）：特開2009-175120
出願日： 2008年06月11日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：

【課題】 特に、第1軟磁性体を備える固定抵抗素子と磁気抵抗効果素子との配置を適正化した磁気センサ及び磁気センサモジュールを提供することを目的とする。【解決手段】 固定抵抗素子4,5が縦方向(Y1-Y2方向)に略直列に配置されている。固定抵抗素子4,5は、固定磁性層、非磁性層及びフリー磁性層を備える素子部12と、素子部12の上方に位置する第1軟磁性体23を備える。固定抵抗素子4,5を囲む固定抵抗素子形成領域80と磁気抵抗効果素子2,3とが横方向(X1-X2方向)に対向している。また、磁気抵抗効果素子2,3と固定抵抗素子形成領域80との間の領域に第3軟磁性体71が設けられている。第3軟磁性体71は縦方向に長く形成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

磁気抵抗効果素子及び固定抵抗素子を備えた磁気センサであって、 前記磁気抵抗効果素子は、磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性層を介して積層された外部磁場を受けて磁化方向が変動するフリー磁性層とを有する素子部を備え、前記固定磁性層の固定磁化方向は感度軸方向であり、 前記固定抵抗素子は、素子幅W1に比べて素子長さL1が長く形成された細長形状の素子部を備え、前記固定抵抗素子を構成する素子部は、前記固定磁性層と、前記固定磁性層に前記非磁性層を介して積層された前記フリー磁性層とを有しており、 前記固定抵抗素子を構成する素子部と間隔を空けて前記素子部に対して磁気シールド効果を発揮する第1軟磁性体が積層配置されており、 前記固定抵抗素子は、前記磁気抵抗効果素子に対して、前記感度軸方向と平行な縦方向に対向しない位置に配置されていることを特徴とする磁気センサ。

IPC (2件)：

G01R 33/09 ,  H01L 43/08

FI (2件)：

G01R33/06 R ,  H01L43/08 Z

Fターム (28件)：

2G017AC01 ,  2G017AD55 ,  2G017AD56 ,  2G017AD64 ,  2G017BA05 ,  5F092AA01 ,  5F092AB01 ,  5F092AC08 ,  5F092AC12 ,  5F092AD03 ,  5F092AD06 ,  5F092BB17 ,  5F092BB22 ,  5F092BB31 ,  5F092BB35 ,  5F092BB42 ,  5F092BB53 ,  5F092BB55 ,  5F092BB81 ,  5F092BB82 ,  5F092BC03 ,  5F092BC04 ,  5F092BC42 ,  5F092DA07 ,  5F092EA01 ,  5F092EA07 ,  5F092FA08 ,  5F092FA09