特許
J-GLOBAL ID:200903025283902836
光電導素子およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
尾股 行雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-247095
公開番号(公開出願番号):特開平9-092910
出願日: 1995年09月26日
公開日(公表日): 1997年04月04日
要約:
【要約】【課題】 有機光電導体を用いて、滑らかな表面と緻密な組織を有し、かつ、耐電圧特性に優れた光電導素子およびその製造方法を提供することを解決すべき課題とする。【解決手段】 電極3上に、高周波イオンプレーティングによって有機光電導体Aを真空蒸着して光電導層4を形成し、この光電導層上に他の電極5を真空蒸着してなることを特徴とする。
請求項(抜粋):
電極上に、高周波イオンプレーティングによって有機光電導体を真空蒸着して光電導層を形成し、この光電導層上に他の電極を真空蒸着してなることを特徴とする光電導素子。
IPC (3件):
H01L 51/10
, H01L 31/08
, C23C 14/32
FI (2件):
H01L 31/08 T
, C23C 14/32 Z
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