特許
J-GLOBAL ID：200903025284528318
微分干渉顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277197
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122648
出願日： 1994年10月18日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 コントラスト増強法との組み合わせにおいて、最適な解像力が得られる微分干渉顕微鏡を提供する。【構成】 光源7からの光を常光と異常光とに分離して被観察物体1に照射し、その被観察物体1の像を結像光学系3により常光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、結像光学系3の結像面に電子撮像素子4を配置し、被観察物体1に照射される常光および異常光の物体面における分離幅Δを、観察する光の波長をλ、結像光学系3の観察物体側の開口数をNAとするとき、Δ<0.25・λ/NAを満足するよう構成して、電子撮像素子4からの画像信号を処理してコントラストを増強する。
請求項（抜粋）：
光源からの光を常光と異常光とに分離して被観察物体に照射し、その被観察物体の像を結像光学系により常光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、前記結像光学系の結像面に電子撮像素子を配置し、前記被観察物体に照射される前記常光および異常光の物体面における分離幅Δを、観察する光の波長をλ、前記結像光学系の観察物体側の開口数をNAとするとき、Δ<0.25・λ/NAを満足するよう構成して、前記電子撮像素子からの画像信号を処理してコントラストを増強するようにしたことを特徴とする微分干渉顕微鏡。
IPC (2件)：
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