特許
J-GLOBAL ID：200903025289527930
周波数調整装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-197650
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041773
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【目的】 圧電素子の近傍で補助的なプラズマを発生させ、圧電素子からみたプラズマ・インピーダンスを低下させ、エッチング電圧を低下させてアーク放電を防止し、エッチング電流を増加させて調整速度を向上させた圧電素子の周波数調整装置を提供する。【構成】 水晶振動子100の表面電極101の近傍に補助電極201を設け、補助電極201は補助直流電源202の負の電位に接続される。補助電極201より高密度のプラズマを発生させ、直流電源2の負の電位に接続された表面電極101に、このプラズマを供給する。
請求項（抜粋）：
水晶振動子等の圧電素子の表面電極に直接電位を与えて、エッチングすることにより電極膜の質量を減らして周波数を調整する装置において、少なくとも一方の表面電極の近傍に、負の電位に設定する補助電極を設け、補助的なプラズマを発生させる手段を備えたことを特徴とする周波数調整装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/04 B
, H03H 9/19 A
