表面電位センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-270666
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115646
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【解決手段】表面電位センサは、検知電極、チョッパ、チョッパ駆動回路、検知電極に発生した交流信号を、表面電位を表す直流電圧に変換するための変換回路、変換回路からの直流電圧に応じた測定電圧を受けて表面電位を指示する信号を出力する出力回路とを備え、少なくとも検知電極およびチョッパは、接地電位からフローティングした動作点を有し、変換回路と出力回路との間に介在して、高圧電源と高圧制御回路とが配置され、高圧制御回路は、積分回路からの出力を単に信号として入力し、この信号に基づき正および負の高圧電圧を連続的に分圧し、この発生電圧を測定出力とすると共に、センサ回路のコモングランドに帰還させている。【効果】出力特性をリニヤにすると共に、全域での正確で安定した検出を可能とし、また、レスポンスも向上させ、そして、極性を問わず出力をセンサ部に帰還させることができ、一層の小型化も達成できる。

請求項（抜粋）：

被測定体の表面電位を検知するための表面電位センサにおいて、前記被測定体の表面に対して対峙させられる検知電極と、前記表面電位を交流電圧として前記検知電極で検出すべく前記被測定体と前記検知電極との間の電界を所定の周期で断続するため、前記被測定体と前記検知電極との間に配置されるチョッパと、該チョッパを駆動するためのチョッパ駆動回路と、前記検知電極に発生した交流信号を、前記表面電位を表す直流電圧に変換するための変換回路と、該変換回路からの直流電圧に応じた測定電圧を受けて前記表面電位を指示する信号を出力する出力回路とを備えており、少なくとも前記検知電極および前記チョッパは、接地電位からフローティングした動作点を有し、前記変換回路と前記出力回路との間に介在して、高圧電源と高圧制御回路とが配置され、前記高圧電源は、定電圧電源としてのトランスを備え、前記高圧制御回路は、前記変換回路からの直流電圧を単に制御信号として受けて、該制御信号に基づき前記トランスによる正または負の高圧電圧を連続的に分圧し、この発生電圧を、前記測定電圧として前記出力回路へ入力すると共に、前記チョッパ、チョッパ駆動回路および前記変換回路のコモングランドに帰還させるようにしたことを特徴とする表面電位センサ。

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