特許
J-GLOBAL ID：200903025292330462
マイクロジャイロスコープ
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-348972
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189557
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 線形性、分解能が高く、測定範囲の広いマイクロジャイロスコープを提供する。【解決手段】 基板と、一側に第1,第2コーム40,42を有し平行に配される第1,第2ストライプ部35,35′と、これらストライプ部35,35′を相互連結する多数の連結部36とを備えた振動構造物50と、この振動構造物50を基板から所定間隔を空けて支持する弾性手段32,32′と、振動構造物50を静電力により一方向に加振させるために第1コーム40間に配される第3コーム39を有する駆動手段33と、その振動構造物50の運動を静電容量の変化により感知するために第2コーム42間に配される第4コーム41を有する感知手段34と、コリオリの力による振動構造物の変位を静電容量の変化により感知するために連結部36の間に基板から所定間隔を空けて振動構造物50と同一平面上に配される多数の感知電極38とから構成する。
請求項（抜粋）：
基板と、一側に第1及び第2コームが形成され平行に配置された第1及び第2ストライプ部と、前記第1及び第2ストライプ部を相互連結する多数の連結部とを具備した振動構造物と、前記振動構造物が前記基板から所定の間隔で離隔されるように弾性的に支持する弾性手段と、前記振動構造物を静電力にて一方向に加振させ得るように、前記第1ストライプ部の第1コーム間に配置される第3コームを具備した駆動手段と、前記駆動手段による前記振動構造物の運動を静電容量の変化を通じて感知できるように、前記第2ストライプ部の第2コーム間に配置される第4コームを具備した感知手段と、コリオリの力による振動構造物の変位を静電容量の変化を通じて感知できるように、前記振動構造物の連結部の間に前記基板から所定の間隔で離隔され前記振動構造物と同一な平面上に配置された多数の感知電極とを具備したマイクロジャイロスコープ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01C 19/00
, G01P 9/04
G01C 19/56
, G01C 19/00 Z
, G01P 9/04
