特許

J-GLOBAL ID：200903025295321642

電機子用コイルユニット及びその製造方法、電機子ユニット、リニアモータ、ステージ装置及び露光装置、並びに半導体デバイスの製造方法

発明者： 入江 則行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-227470
公開番号（公開出願番号）：特開2002-044929
出願日： 2000年07月27日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】 冷却媒体の流路面積を大きくしたり圧力を高めることなく、冷却効率を向上させて、コイルの発熱によるリニアモータ等の温度上昇を抑える。【解決手段】 リニアモータ100等の固定子110に内蔵されるコイルユニット150は、板状のコイル部材151a,151b,151c,151dからなるコイル151を有する。コイル151の表面には、多数のディンプル161,161...を有する冷却部160A,160Bが設けられる。固定子110のキャン113とコイルユニット150との間の流路115に、冷却媒体を循環させたときコイルユニットの表面積が拡大した分、冷却効率が向上する。

請求項（抜粋）：

コイルの表面に多数の凹凸を有する冷却部が設けられていることを特徴とする電機子用コイルユニット。

IPC (6件)：

H02K 41/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H02K 9/19 ,  H02K 15/04 ,  H02K 41/03

FI (6件)：

H02K 41/02 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H02K 9/19 Z ,  H02K 15/04 Z ,  H02K 41/03 A ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (44件)：

5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5H609BB08 ,  5H609PP02 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ05 ,  5H609QQ11 ,  5H609RR26 ,  5H609RR32 ,  5H609RR35 ,  5H609RR41 ,  5H609RR51 ,  5H609RR63 ,  5H615AA01 ,  5H615BB07 ,  5H615PP01 ,  5H615PP02 ,  5H615SS13 ,  5H615SS18 ,  5H615SS24 ,  5H615SS44 ,  5H615TT26 ,  5H641BB06 ,  5H641BB18 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641HH04 ,  5H641HH06 ,  5H641JA06 ,  5H641JB03 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05 ,  5H641JB10