特許
J-GLOBAL ID：200903025299563020
マイクロミラー装置およびミラーアレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-061039
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240728
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：
【課題】複数のミラーを近接して配置する。【解決手段】マイクロミラー装置1は、平板状のミラー2と、ミラー2を回動可能に支持するばね4a,4bと、ミラー2と対向する下部基板の上に形成された駆動電極3a,3b,3c,3dとを備えている。ばね4a,4bは、ミラー2の長さ方向の両端を支持する。ミラー2の長さ方向に沿った軸に対して垂直で、かつミラー面と平行な軸を第1の回動軸Aとしてミラー2が所望の角度に回動可能であると共に、長さ方向に沿った軸を第2の回動軸Bとしてミラー2が所望の角度に回動可能なように、ばね4a,4bのばね定数が設定される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平面視略矩形のミラーと、このミラーを回動可能に支持する少なくとも2つの伸縮可能な支持体と、前記ミラーと対向する下部基板の上に形成された、前記ミラーの傾斜角を制御する駆動電極とを備えたマイクロミラー装置であって、
前記少なくとも2つの支持体は、前記ミラーの長い方の2辺に沿った長さ方向の両端を支持するものであり、
前記長さ方向に沿った軸に対して垂直で、かつミラー面と平行な軸を第1の回動軸として前記ミラーが所望の角度に回動可能であると共に、前記長さ方向に沿った軸を第2の回動軸として前記ミラーが所望の角度に回動可能なように、前記支持体のばね定数が設定されることを特徴とするマイクロミラー装置。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, G02B 26/10
, B81B 3/00
, B81B 7/04
G02B26/08 E
, G02B26/10 B
, G02B26/10 C
, G02B26/10 104Z
, B81B3/00
, B81B7/04
2H041AA14
, 2H041AA18
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
, 2H045AB06
, 2H045AB13
, 2H045AB73
, 2H045BA12
, 2H045BA22
