特許
J-GLOBAL ID:200903025303036065
電気光学装置用基板の検査方法、電気光学装置用基板及び電気光学装置並びに電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-112524
公開番号(公開出願番号):特開2000-304796
出願日: 1999年04月20日
公開日(公表日): 2000年11月02日
要約:
【要約】【課題】 電気光学装置を構成する基板のうち、素子基板が半導体基板であっても、当該素子基板の欠陥検査を容易に行う。【解決手段】 2個の画素に対し、所定の電位を基準として互いに極性反転した電圧レベルの検査信号CX1、CX2を、アナログスイッチ161と当該画素に接続されるデータ線114とを介してそれぞれ書き込んだ後、書き込まれた画素から、互いに極性反転された電圧レベルの信号C1、C2を、当該画素に接続されるデータ線114と画像信号線113を介し読み出し、差動増幅器200によって両者の差分を求めて、この差分電圧に基づいて、画素または周辺回路の欠陥を検出する。
請求項(抜粋):
画素電極とトランジスタとからなる画素を備え、前記トランジスタが前記画素電極とデータ線との間に介挿された電気光学装置用基板の検査方法であって、少なくとも2個の画素に対し、所定の電位を基準として互いに極性反転した電圧レベルの検査信号を、当該画素に接続されるデータ線を介してそれぞれ書き込む過程と、書き込まれた画素のうち少なくとも2個の画素から、互いに極性反転された電圧レベルを、当該画素に接続されるデータ線を介し読み出す読出過程と、前記読出過程により読み出された電圧レベル同士の差分を求める過程と、前記両者の差分に基づいて、画素または周辺回路の欠陥を検出する過程とを備えることを特徴とする電気光学装置用基板の検査方法。
IPC (4件):
G01R 31/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
, G09F 9/30 333
FI (4件):
G01R 31/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
, G09F 9/30 333
Fターム (43件):
2G036BA33
, 2G036CA07
, 2H088FA11
, 2H088HA01
, 2H088HA02
, 2H088HA04
, 2H088HA06
, 2H088HA08
, 2H088HA13
, 2H088HA14
, 2H088MA20
, 2H092HA02
, 2H092JA24
, 2H092KA04
, 2H092KB04
, 2H092KB25
, 2H092NA29
, 2H092NA30
, 2H092PA01
, 2H092PA06
, 2H092PA08
, 2H092PA09
, 5C094AA05
, 5C094AA13
, 5C094AA42
, 5C094AA43
, 5C094AA53
, 5C094BA03
, 5C094BA16
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094DA09
, 5C094DB01
, 5C094DB04
, 5C094DB10
, 5C094EA03
, 5C094EA04
, 5C094EA05
, 5C094EA06
, 5C094EB02
, 5C094EB05
, 5C094FA01
, 5C094GB10
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