特許
J-GLOBAL ID:200903025305282926
圧電素子およびその使用方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高山 宏志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-112963
公開番号(公開出願番号):特開2001-345492
出願日: 2000年04月14日
公開日(公表日): 2001年12月14日
要約:
【要約】【課題】 X-Yステージやリニアモータ、回転モータ、或いはパーツフィーダ等の搬送機等に用いられる、ずり剪断変形(15モード)を利用して駆動する圧電素子およびその使用方法を提供する。【解決手段】 圧電素子10は、所定ピッチPで平行に並べられた複数の線状電極12a〜15a・12b〜15bを1本おきに接続してなる1組の内部電極が表面に形成された板状の圧電体11a〜11dを、線状電極12a〜15a・12b〜15bの長さ方向(Y軸方向)と圧電体11a〜11dの厚み方向(Z軸方向)の両方向に垂直な方向であるX軸方向に、所定ピッチPの半分の間隔ほどずらしながら積層し、一層おきに所定ピッチPほどずれた位置にある線状電極を接続した構造を有する。
請求項(抜粋):
圧電体に電界方向が互いに直交する2組の電極対が形成されてなる圧電素子であって、少なくとも一方の電極対の電極は線状に形成されており、他方の電極対によって分極が行われた後に、前記線状の電極対に電圧を印加することによって、前記圧電体がずり剪断変形を起こすことを特徴とする圧電素子。
IPC (3件):
H01L 41/09
, H01L 41/083
, H02N 2/00
FI (3件):
H02N 2/00 A
, H01L 41/08 L
, H01L 41/08 Q
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