特許
J-GLOBAL ID：200903025309042210
偏光変調赤外分光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-209154
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045224
出願日： 1991年08月21日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】本発明は固体基板上の薄膜試料の赤外スペクトルを高感度化に測定するために、光損失を低く抑え、取扱い容易で線形応答性の良い検出器を使用可能な偏光変調赤外分光装置を提供する事にある。【構成】本発明はステップスキャン方式の干渉赤外分光器と、偏光面が回転するように偏光子を回転させ偏光変調された赤外光を取り出す手段と、偏光変調された赤外光を位相敏感検波して増幅するロックイン増幅器とデータ処理手段を備えた赤外分光光度計から構成される。
請求項（抜粋）：
赤外光源からの赤外光を一定の回転数で回転する偏光子を透過させることにより周波数fで偏光変調された赤外光を得る手段と、その赤外光を薄膜試料に入射し、その反射光を採光する光学系と、集光された反射光のスペクトルを得るための干渉分光器からなる偏光変調赤外分光装置において、前記干渉分光器の光路差をステップ状不連続に変化させるステップスキャン手段を設け、干渉分光器の可動ミラーを静止させた状態で周波数fで変調された赤外光検出器からの信号強度(I)を測定し、続いて次ステップ位置まで干渉分光器の可動ミラーを移動させ、静止状態で同様に信号強度(I′)を測定するプロセスを所定回繰返し、信号強度(I,I′,...I)よりなるインターフェログラムを得、フーリエ変換してスペクトルを得ることにより薄膜による赤外吸収に重畳したバックグラウンドの吸収成分を除去する事を特徴とした偏光変調赤外分光装置。
IPC (3件)：
G01J 3/28
, G01N 21/21
, G01N 21/35
