特許

J-GLOBAL ID：200903025313383529

超純水の製造方法

発明者： 老沼 正芳 ,  小泉 求 ,  水庭 哲夫
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-022312
公開番号（公開出願番号）：特開平6-233997
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 市水、地下水、工業用水を原水として、これを生物処理した後、一次純水製造装置及び二次純水製造装置で処理して超純水を製造する方法において、有機物(C源)を添加する方法に代る手段により、生物処理工程における尿素分解速度を向上させて、TOCが著しく低減された超純水を製造する。【構成】 市水、地下水、工業用水等の尿素を含む原水に、超純水による半導体洗浄回収水20Bを混合して生物処理した後、一次純水製造装置B及び二次純水製造装置Cに通水する。

請求項（抜粋）：

原水を、超純水による半導体洗浄回収水と混合して生物処理した後、一次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水することを特徴とする超純水の製造方法。

IPC (6件)：

C02F 9/00 ,  B01D 61/58 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 3/08 ZAB ,  C02F 3/10 ZAB