ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350165
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242338
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】高感度で高残膜率のパターンを得ることができ、封止樹脂及び基板との密着性に優れるポジ型感光性樹脂、及び封止樹脂との密着性に優れるポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と、フェノール化合物(C)1〜30重量部と、有機ケイ素化合物1〜10重量部(D)からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と一般式(2)及び(3)のフェノール化合物(C)の合計1〜30重量部と一般式(4)、(5)、(6)から選ばれた少なくとも一つの有機ケイ素化合物(D)1〜10重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】【化4】【化5】【化6】

IPC (5件)：

G03F 7/075 501 , G03F 7/022 601 , G03F 7/037 , H01L 21/027 , C08G 69/42

FI (5件)：

G03F 7/075 501 , G03F 7/022 601 , G03F 7/037 , C08G 69/42 , H01L 21/30 502 R

前のページに戻る