表面検査装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130459
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330178
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】試料の表面に一定ピッチで配列されている多数の所定パターンを複数のレーザビームで同時に走査し、その検出結果を比較して不良の有無を判定する装置において、試料の表面での複数のレーザビームの照射位置を充分に近接させることを可能とするとともに、検出した不良を迅速かつ正確に分析できるようにする。【解決手段】複数出射手段13から平行に出射される複数のレーザビームを一個の収束光学手段17により一本の光線と同様に集光し、試料2の表面に所定パターンの配列ピッチの整数倍の間隔で入射させる。試料2の表面の複数のレーザビームの照射位置の一つと同一位置に電子出射手段21から電子ビームを照射し、これで試料2の表面から発生する二次電子やX線を電子検出手段22やX線検出手段23で検出する。

請求項（抜粋）：

多数の所定パターンが表面に一定ピッチで配列されている試料を保持する試料保持手段と、複数のレーザビームを平行に出射する複数出射手段と、この複数出射手段から出射された複数のレーザビームを一本の光線と同様に集光して前記試料保持手段により保持された試料の表面に所定パターンの配列ピッチの整数倍の間隔で入射させる一個の収束光学手段と、この収束光学手段から試料に照射されるレーザビームを相対走査させる相対走査手段と、この相対走査手段により相対走査されて試料の表面で反射された複数のレーザビームを個々に検出する複数のレーザ検出手段と、これら複数のレーザ検出手段の検出結果を比較して試料の表面の不良の有無を判定する結果判定手段と、前記複数出射手段から前記収束光学手段を介して試料の表面に照射される複数のレーザビームの一つと同一の位置に所定のエネルギビームを照射するエネルギ出射手段と、該エネルギ出射手段のエネルギビームの照射により試料の表面から発生する発生エネルギを検出するエネルギ検出手段と、を具備している表面検査装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 , G01B 11/30 , G01N 21/00 , G01N 21/88 , G01N 23/225

FI (6件)：

H01L 21/66 J , H01L 21/66 Z , G01B 11/30 D , G01N 21/00 B , G01N 21/88 E , G01N 23/225

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