特許
J-GLOBAL ID:200903025323395010
圧力センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田澤 博昭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-036179
公開番号(公開出願番号):特開平6-229862
出願日: 1993年02月02日
公開日(公表日): 1994年08月19日
要約:
【要約】【目的】 同一の圧力センサで、複数の増幅率に対応する複数の補正式により、複数のレンジに対応できる。【構成】 演算器11の保有している圧力センサにおいて、複数の増幅率とそれに対応した複数の補正式を保有し、圧力センサ素子1に入力される圧力に応じて増幅率を切り換え、それに対応した補正式に圧力センサ素子1の補正を行う。
請求項(抜粋):
圧力センサ素子の出力端子間に接続された複数個の直列抵抗と、この直列抵抗の抵抗値を切り換える切り換え器と、この切り換え器の出力と上記圧力センサ素子の一方の出力を入力とする差動増幅回路と、この差動増幅回路の出力端にA/Dコンバータを介して接続され、駆動信号を上記切り換え器に送出することにより、上記直列抵抗の抵抗値を切り換える演算器と、この演算器に接続され、上記切り換え器の切り換え率に対応した複数の補正式を記憶する不揮発性のメモリとを備え、上記切り換え器によって上記直列抵抗の抵抗値を切り換えることにより、上記差動増幅回路の増幅率を一定にするとともに、上記圧力センサ素子の出力をほぼ一定にし、かつ上記メモリに記憶された補正式にもとづいて上記圧力センサ素子の出力特性を補正することを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件):
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
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