特許
J-GLOBAL ID：200903025329518734
ノズルプレート及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-038091
公開番号（公開出願番号）：特開2003-237086
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月26日
要約：
【要約】【課題】 ノズル詰りを防止して撥水膜の耐久性及び撥水性を向上できるノズルプレート及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 液滴を吐出する複数個のノズル開口21を有し、ノズル開口21と連通する流路が形成された流路形成基板10に接合されるノズルプレート20において、ノズル開口21が設けられ且つ流路形成基板10に接合されるノズルプレート本体を具備し、ノズルプレート本体の流路形成基板10とは反対側の面の少なくともノズル開口21の周囲に、ノズルプレート本体より誘電率が低い無機化合物からなる撥水膜100を設ける。
請求項（抜粋）：
液滴を吐出する複数個のノズル開口を有し、該ノズル開口と連通する流路が形成された流路形成基板に接合されるノズルプレートにおいて、前記ノズル開口が設けられ且つ前記流路形成基板に接合されるノズルプレート本体を具備し、当該ノズルプレート本体の前記流路形成基板とは反対側の面の少なくとも前記ノズル開口の周囲に、前記ノズルプレート本体より誘電率が低い無機化合物からなる撥水膜が設けられていることを特徴とするノズルプレート。
Fターム (13件)：
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG07
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP13
, 2C057AP34
, 2C057AP52
, 2C057AP56
, 2C057AP60
, 2C057AQ02
, 2C057AQ06
