特許

J-GLOBAL ID：200903025330787803

薄膜の電気抵抗測定法

発明者： 藤本 幸二
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社 ,  大日本インキ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207981
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045389
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 薄膜の触針式電気抵抗測定において、簡便かつ高精度な電気抵抗値測定方法を提供する。【構成】 薄膜の触針式電気抵抗測定法において、電極間距離が異なる少なくとも2組の電極系によって測定された検出電圧と通電電流値から薄膜の電気抵抗値を自動的に算出することを特徴とする薄膜の電気抵抗測定方法。【効果】 上記の構成を適用することにより、試料毎に試料の厚さを計測する手間が省けて、さらに試料の厚さを計測する際の計測誤差に影響されずに、また低周波交流を用いることによって電極表面の分極による測定誤差を防ぐことができて、簡便かつ高精度な薄膜の電気抵抗測定が実現できる。

請求項（抜粋）：

薄膜の触針式電気抵抗測定法において、電極間距離が異なる少なくとも2組の電極系によって測定された検出電圧と通電電流値から薄膜の電気抵抗値を自動的に算出することを特徴とする薄膜の電気抵抗測定方法。