特許

J-GLOBAL ID：200903025331660173

分圧真空計四重極部の組立方法

発明者： 堀川 祐一
出願人/特許権者： 株式会社ホリゾン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-234191
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004572
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】分圧真空計の四重極部を治具を使用し、精度よく容易に組み立てる。【解決手段】四重極部を備える分圧真空計において、前記四重極部とそれを組み立てるとき、電極ロッド間の間隔を治具の精度と同じになる固定方法とし絶縁支持部材の寸法精度によらないような組立治具ならびに組立方法としたことを特徴とする方法とその治具。

請求項（抜粋）：

真空中のガスをその質量数(m/z)により分離し、分圧ならびに全圧を測定する分圧真空計において、そのセンサー部である四重極部を精度よく容易に組み立てることを特徴とする組立方法。

IPC (4件)：

G01L 21/30 ,  H01J 9/14 ,  H01J 41/10 ,  H01J 49/42

FI (4件)：

G01L 21/30 Z ,  H01J 9/14 A ,  H01J 41/10 ,  H01J 49/42

Fターム (7件)：

2F055AA40 ,  2F055CC45 ,  2F055DD20 ,  2F055EE40 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  5C038JJ06