特許

J-GLOBAL ID：200903025334925712

共焦点高さ測定装置

発明者： 中里 泰子
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-069234
公開番号（公開出願番号）：特開2003-269922
出願日： 2002年03月13日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】試料の高さを視覚的に瞬時に把握すること。【解決手段】バンプ2の3次元形状の表示画面中に、バンプ2の基準高さを示す仮想基準面Hを表示し、この仮想基準面Hを上限許容高さHaに移動させる。

請求項（抜粋）：

共焦点光学系の共焦点位置を光軸方向に移動させて試料の共焦点画像データを複数枚取得し、これら共焦点画像データから前記試料の3次元形状を求めて高さ情報を表示する共焦点高さ測定装置において、前記試料の3次元形状の表示画面中に、前記試料の基準高さを示す仮想基準面を表示する基準面表示手段、を具備したことを特徴とする共焦点高さ測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 11/02 Z ,  G01B 11/24 A

Fターム (13件)：

2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065AA61 ,  2F065CC00 ,  2F065CC25 ,  2F065FF01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12