特許

J-GLOBAL ID：200903025336855410

リンス水の浄化方法及び装置

発明者： 福島 由美子 ,  北嶋 雅之
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-175803
公開番号（公開出願番号）：特開平8-039051
出願日： 1994年07月27日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、リンス水の浄化方法および装置に係り、より簡易にリンス水の品質を管理し、より完全に汚染の除去を行うことを目的ろする。【構成】 使用済みリンス水11を導入した、処理槽16を加圧装置14によってリンス水11の沸点が、汚染物質の分解温度以上(500°C)となるように加圧する。更に、加熱装置15によって、リンス水11を汚染物質の分解温度以上(480°C)となるように加熱する。これによってリンス水11に含まれる汚染物質を熱分解するよう構成する。

請求項（抜粋）：

処理槽内に使用済みリンス水を導入する導入工程と、該導入されたリンス水の沸点が、汚染物質の分解温度以上となるように、加圧する加圧処理工程と、該加圧されたリンス水を、汚染物質の分解温度以上となるように、加熱する加熱処理工程とよりなる構成としたことを特徴とするリンス水の浄化方法。

IPC (5件)：

C02F 1/02 ZAB ,  C02F 1/02 ,  B08B 3/14 ,  C02F 1/04 ZAB ,  H01L 21/304 341