特許

J-GLOBAL ID：200903025350763692

ステージ装置

発明者： 松原 寿人 ,  吉川 勇希
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-062194
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260465
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 ステージ装置の異常を初期段階で判定し、感光基板の位置決め誤差などの動作不良の発生を未然防止可能なステージ装置を提供する。【解決手段】 基板(16)を載置して水平移動する駆動機構(12、20)を備えたステージ(14)に、駆動機構の作動音を集音する集音手段(24a〜24c)と、その集音手段により集音された作動音の周波数に応じて、駆動機構の異常を判定する異常判定手段(26、28)とを設けているので、異常音を検出した場合に、初期段階で対応することができる。

請求項（抜粋）：

基板を載置して水平移動する駆動機構を備えたステージ装置において、前記駆動機構の作動音を集音する集音手段と、前記集音手段により集音された前記作動音の周波数に応じて前記駆動機構の異常を判定する異常判定手段とを備えたことを特徴とする、ステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  F16C 19/52 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 K ,  F16C 19/52 ,  G03F 9/00 Z ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 B