特許
J-GLOBAL ID：200903025353084737
イオン源装置およびそれを用いたイオン注入方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022215
公開番号（公開出願番号）：特開平10-208651
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 電気的な手段によって、イオン源から引き出すイオンビームを、そのエネルギーを変化させずにしかも方形パルス状に断続する。【解決手段】 このイオン源2の引出し電極系20は、プラズマ電極21および引出し電極22を有している。そこで、プラズマ電極21に加速電圧V1 を印加する加速電源26の正負両極間に、互いに直列接続されていて互いに相反して入切する二つのスイッチ41、42から成る加速電源スイッチ40を接続し、かつこの二つのスイッチの互いの直列接続部43にプラズマ電極21を接続した。更に、引出し電極22に引出し電圧V2 を印加する引出し電源28の正負両極間に、互いに直列接続されていて互いに相反して入切する二つのスイッチ51、52から成る引出し電源スイッチ50を接続し、かつこの二つのスイッチの互いの直列接続部53に引出し電極22を接続した。
請求項（抜粋）：
プラズマを生成するプラズマソース部と、当該プラズマからイオンビームを引き出す引出し電極系とを有し、かつ当該引出し電極系が、最プラズマ側に配置されていて接地電位を基準にして正の加速電圧が印加されるプラズマ電極と、このプラズマ電極のすぐ下流側に配置されていて当該プラズマ電極の電位を基準にして負の引出し電圧が印加される引出し電極とを有するイオン源と、前記プラズマ電極と接地電位部との間に前者を正極側にして接続された直流の加速電源と、前記引出し電極と前記プラズマ電極との間に前者を負極側にして接続された直流の引出し電源とを備えるイオン源装置において、前記加速電源の正負両極間に、互いに直列接続されていて互いに相反して入切する二つのスイッチから成る加速電源スイッチを接続し、かつこの二つのスイッチの互いの直列接続部に前記プラズマ電極を接続し、更に、前記引出し電源の正負両極間に、互いに直列接続されていて互いに相反して入切する二つのスイッチから成る引出し電源スイッチを接続し、かつこの二つのスイッチの互いの直列接続部に前記引出し電極を接続していることを特徴とするイオン源装置。
IPC (5件)：
H01J 27/02
, C23C 14/48
, H01J 37/08
, H01J 37/317
, H01L 21/265
H01J 27/02
, C23C 14/48 Z
, H01J 37/08
, H01J 37/317 Z
, H01L 21/265 603 A
