特許

J-GLOBAL ID：200903025353198074

張り合わせウエハ

発明者： 海野 秀之 ,  桜井 哲真 ,  下口 信幸
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社 ,  エヌティティエレクトロニクステクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-130258
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335511
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 強靱で割れ難く、高歩留りな張り合わせウエハを得る。【構成】 (100)面のウエハ1と(111)面のウエハ2を張り合わせる。

請求項（抜粋）：

結晶方位の異なるウエハを互いに張り合わせたことを特徴とする張り合わせウエハ。