特許

J-GLOBAL ID：200903025356381570

クリーンルームの気流調整装置

発明者： 河合 雅利 ,  大倉 雅広 ,  古賀 憲一 ,  阿部 剛 ,  板井 久弥 ,  森 眞人 ,  原 正誉
出願人/特許権者： 東芝空調株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317851
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160220
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内に斜流が発生するのを防止し、発塵源からの発塵の舞い上がりを未然にかつ有効的に防止し、製品歩留り、品質を向上させ、信頼性の高い装置を提供する。【解決手段】工業用クリーンルームの気流調整装置は、密閉室11内に高性能フィルタとグレーチング床13とを上下に間隔をおいて配設し、密閉室11内を天井チャンバとクリーンルーム16と床下チャンバ17とに区画し、グレーチング床13下方の床下チャンバ17にプレフィルタ等の均圧化フィルタ手段50を設ける。そして、クリーンルーム16内のグレーチング床13上に製造装置44を下駄を履かせて設置し、上記製造装置44を設置したグレーチング床13の下方に均圧化フィルタ手段50に代えて圧力調整手段51を設ける。さらに、製造装置44とグレーチング床13との間の間隙を気流廻り込み防止手段70で封止させたものである。

請求項（抜粋）：

密閉室内に高性能フィルタとグレーチング床とを上下に間隔をおいて配設して密閉室内を天井チャンバとクリーンルームと床下チャンバとに区画し、上記グレーチング床下方の床下チャンバにプレフィルタ等の均圧化フィルタ手段を設けた工業用クリーンルームにおいて、前記クリーンルーム内のグレーチング床上に製造装置を下駄を履かせて設置し、上記製造装置を設置したグレーチング床の下方に均圧化フィルタ手段に代えて圧力調整手段を設ける一方、前記製造装置とグレーチング床との間の間隙を気流廻り込み防止手段で封止したことを特徴とするクリーンルームの気流調整装置。