特許
J-GLOBAL ID：200903025364635654
交流型プラズマディスプレイパネルの保護膜の形成方法ならびにその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009693
公開番号（公開出願番号）：特開平11-213869
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】交流型プラズマディスプレイパネルの誘電体層上に均質な(111)配向性のMgO結晶からなる電極膜および保護膜を形成する方法およびその装置の提供。【解決手段】原料蒸気流が、プラズマ発生源とアノード電極との間に形成されるプラズマ等と相互作用を行い、誘電体層の上層に(111)配向のMgO結晶からなる交流型プラズマディスプレイパネルの電極膜および保護膜を形成する方法および装置。
請求項（抜粋）：
原料蒸気源からMgを含む原料を蒸発または昇華させて、該原料蒸気源と対向する蒸着部に配設された交流型プラズマディスプレイパネルの誘電体層の上層にMgOを主成分とする保護膜を形成する方法であって、原料蒸気源からの原料蒸気流が、前記原料蒸気源とは独立に制御されるプラズマ発生源と、該プラズマ発生源と対向して配設されたアノード電極との間に形成されるプラズマ、電子またはイオンの存在領域を横断して蒸着部に到達するとともに、プラズマ、電子またはイオンと相互作用を行い、交流型プラズマディスプレイパネルの誘電体層の上層に(111)配向のMgO結晶を80〜100%含む保護膜を形成する工程を有する交流型プラズマディスプレイパネルの保護膜の形成方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, C23C 14/32
, H01J 9/20
, H01J 17/49
H01J 9/02 F
, C23C 14/32 B
, H01J 9/20 A
, H01J 17/49 Z
