特許
J-GLOBAL ID：200903025371701085
電界電子放出素子、この電界電子放出素子を用いた電子放出源および平面ディスプレイ装置、および電界電子放出素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127576
公開番号（公開出願番号）：特開平8-329823
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 電子放出効率が高く、製造の容易な電界電子放出素子を提供することを目的とする。【構成】 基板22上にベ-ス電極23、絶縁膜24および導電膜25(ゲ-ト電極)が積層され、上記導電膜25と絶縁膜24とにスル-ホ-ル26が設けられ、このスル-ホ-ル26内に露出するベ-ス電極23上に複数の柱状結晶28からなる柱状結晶集合体27(エミッタ電極)が成膜されている。
請求項（抜粋）：
導電体の表面に設けられ電界が与えられることで電子を放出するエミッタ電極を備えた電界電子放出素子において、上記エミッタ電極は、先端部から電子を放出できる複数の柱状結晶からなる柱状結晶集合体を有することを特徴とする電界電子放出素子。
IPC (4件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
, H01J 31/15
H01J 1/30 B
, H01J 1/30 Z
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 B
, H01J 31/15 C
