特許
J-GLOBAL ID:200903025373853370

形状計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-128889
公開番号(公開出願番号):特開平5-332737
出願日: 1991年03月15日
公開日(公表日): 1993年12月14日
要約:
【要約】【目的】従来の空間コード化法を用いた形状計測装置は、光源が大きく、物理的なパターンマスクを使用しているために、計測の高速化および装置の小型化が困難であった。本発明は、これらの困難を解決した形状計測装置を実現すると共に、それに用いる簡易な構成の記憶装置と、入り組んだ場所にある物体の測定を可能にする手段とを実現することを目的とする。【構成】本発明に係る形状計測装置は、レーザ光源、スリット光整形用レンズ系、スリット光スキャン用の偏向照射装置、スリット光を所定規則に従って点滅させるための点滅装置、CCDカメラ、画像情報を蓄える記憶装置、偏向角識別部、3次元座標を算出する演算処理部、より成る。本発明に係る形状計測装置の記憶装置は、1フレーム分の画像を蓄える深さ1ビットのメモリを並列に複数枚接続して構成される。本発明に係る形状計測装置は、光ファイバー束を偏向照射装置と被測定物体との間に配置して構成される。
請求項(抜粋):
レーザ光を発生させるレーザ光源と、前記レーザ光をスリット光に整形するレンズ系と、前記スリット光を所定の走査制御下で被測定物体の表面に向けて偏向走査する偏向照射装置と、前記スリット光を所定の規則に従って点滅させる点滅装置と、前記スリット光により前記被測定物体の表面に生じる光学像を撮像するCCDカメラと、前記CCDカメラから出力される画像情報を蓄える記憶装置と、前記画像情報の複数フレームを通じて各画素の明暗情報を調べることにより、各画素に対応する前記被測定物体上の点が前記スリット光に照射されたときの、前記スリット光の偏向角情報を得る偏向角識別部と、各画素の前記偏向角情報を用いて被測定物体の形状を求める演算処理部と、を有することを特徴とする形状計測装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G06F 15/62 415

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