特許
J-GLOBAL ID:200903025374919871
気体流量計
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 好道
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-183112
公開番号(公開出願番号):特開2001-012978
出願日: 1999年06月29日
公開日(公表日): 2001年01月19日
要約:
【要約】【課題】 レンジャビリティが広い気体流量計を、小型、安価に形成する。【解決手段】 流路9中にフラッパー弁18を気体の動圧および弁差圧により開閉するように配置する。フラッパー弁18は気体の設定微少流量時に閉じるようにし、更に、流路9中には、前記フラッパー弁18の閉じ状態時に気体を微少量流通させるバイパス流路17を設ける。バイパス流路17部には熱式フローセンサー21を備える。
請求項(抜粋):
流路中にフラッパー弁を気体の動圧および弁差圧により開閉するように配置し、かつそのフラッパー弁は気体の設定微少流量時に閉じるようにし、更に、流路中には、前記フラッパー弁の閉じ状態時に気体を微少量流通させるバイパス流路を設け、該バイパス流路部には熱式フローセンサーを備えたことを特徴とする気体流量計。
IPC (3件):
G01F 1/00
, G01F 1/68
, G01F 7/00
FI (3件):
G01F 1/00 S
, G01F 1/68
, G01F 7/00
Fターム (7件):
2F030CA03
, 2F030CA10
, 2F030CC11
, 2F030CD13
, 2F030CF09
, 2F035EA04
, 2F035EA08
引用特許:
審査官引用 (1件)
-
フルイデイツク流量計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-207015
出願人:大阪瓦斯株式会社, 株式会社金門製作所
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