特許

J-GLOBAL ID：200903025375153490

フォトルミネッセンス測定装置

発明者： 前田 一夫
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-064578
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224476
出願日： 2007年03月14日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：

【課題】レーザ光線を照射して被測定物全体からのフォトルミネッセンス光の強度分布を短時間で測定できるフォトルミネッセンス測定装置を提供する。【解決手段】この装置はレーザ光源1とCCDカメラ8を具備し、被測定物5とCCDカメラ間の光路上に、偏光フィルター6とレーザ光線の波長を遮断して測定波長のみを透過させるバンドパスフィルター7が配置され、レーザ光源と被測定物間の光路上に、集光レンズ2と第1のガルバノミラー3および第2のガルバノミラー4が配置され、集光レンズで集光されたレーザ光線が、第1のガルバノミラーと第2のガルバノミラーにより反射されて2次元走査されるようになっていることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レーザ光源からのレーザ光線を被測定物へ照射し、被測定物からのフォトルミネッセンス光をCCDカメラにより撮影するフォトルミネッセンス測定装置において、 上記被測定物とCCDカメラとの間の光路上に、偏光フィルターと、上記レーザ光線の波長を遮断して測定波長のみを透過させる波長選択フィルターが配置されると共に、上記レーザ光源と被測定物との間の光路上に、集光レンズと、第1のガルバノミラーおよび第2のガルバノミラーが配置され、集光レンズで集光されたレーザ光線が上記第1のガルバノミラーおよび第2のガルバノミラーにより反射されて2次元走査されるようになっていることを特徴とするフォトルミネッセンス測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/64 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N21/64 Z ,  G01N21/88 K ,  H01L21/66 L

Fターム (43件)：

2G043AA03 ,  2G043CA05 ,  2G043DA04 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043GA02 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA07 ,  2G043HA15 ,  2G043JA03 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043KA05 ,  2G043KA07 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G043MA01 ,  2G043MA04 ,  2G051AA51 ,  2G051AB06 ,  2G051BA04 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB11 ,  2G051BB20 ,  2G051BC05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB10 ,  2G051CC07 ,  2G051EA25 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106BA05 ,  4M106CA18 ,  4M106CB07 ,  4M106CB19 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-120444号公報