特許
J-GLOBAL ID：200903025385416391
塵粒子検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-145993
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340866
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 微妙な調整作業等を必要とせず、安価で、メンテナンス性に優れ、塵粒子の数、大きさを小さい誤差で検出することのできる塵粒子検出器を提供する。【構成】 単一のレーザ発振器から出射されたレーザ光から幅が広く厚さが薄い平行レーザビーム光を作る装置と、そのレーザビーム光をスリットを通して送り込み、被測定空間に隙間の無いシート状レーザビーム光を形成する装置と、そのシート状光を塵粒子が横切る際に発生する散乱光の検出装置と、レーザビーム光を最終的に吸収して外部にもらさないレーザビーム光吸収器とを備えて構成する。シート状レーザビーム光を横切る塵粒子の散乱光を検出し、その強度の変化を利用して、塵粒子の数、散乱光の強度を利用して塵粒子の大きさを検出する。断面が長楕円形状のシート状レーザビーム光のとき塵粒子の大きさの検出誤差が小さい。
請求項（抜粋）：
単一のレーザ発振器と、該レーザ発振器から出射されたレーザ光から幅が広く厚さが薄い平行レーザビーム光を作る装置と、該平行レーザビーム光を導入して被測定空間に隙間の無いシート状レーザビーム光を形成する装置と、該シート状レーザビーム光を塵粒子が横切る際に発生する散乱光を検出する散乱光検出装置と、該シート状レーザビーム光を最終的に吸収して外部にもらさないレーザビーム光吸収器とを備えたことを特徴とする塵粒子検出器。
IPC (3件)：
G01N 15/14
, G01N 15/06
, G01N 21/47
