塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長門侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-309098
公開番号（公開出願番号）：特開平9-150102
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】生産性の向上を図ることができる塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタの製造に利用される塗布方法を実施する塗布装置は、カラーフィルタの基板であるガラス基板Aを移動させるステージ6と、ガラス基板Aに塗布液を吐出するスリットダイ40と、ガラス基板A上での塗膜の形成開始ラインがスリットダイ40の吐出口位置に位置決めされて、ステージ6が停止状態にあるとき、ガラス基板Aの厚みを検出する厚みセンサ22とを備えている。

請求項（抜粋）：

塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、前記塗布器または被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記被塗布部材上での塗膜の形成開始ラインが前記塗布器の吐出口位置にて相対的に停止されたときに、前記被塗布部材の厚みを検出する検出手段を備えたことを特徴とする塗布装置。

IPC (6件)：

B05C 11/10 , B05C 5/02 , B05C 13/02 , B05D 1/26 , B05D 3/00 , B05D 7/00

FI (7件)：

B05C 11/10 , B05C 5/02 , B05C 13/02 , B05D 1/26 Z , B05D 3/00 C , B05D 3/00 D , B05D 7/00 E

引用特許：

審査官引用 (6件)

流体塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-154410 出願人：平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
特開平2-052742
板状部材への流体材料の塗布方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-078187 出願人：ソニー株式会社

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