特許
J-GLOBAL ID：200903025399895896

平面モータ装置及び露光装置

発明者：
田中 慶一

田中 慶一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-345429
公開番号（公開出願番号）：特開2000-175434
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 周囲環境への熱的影響を抑制することができる平面モータ装置を提供する。【解決手段】 磁極ユニット40に対向する電機子コイル34に電流が供給されると、ウエハステージWSTが電磁力により移動面32aに沿って駆動される。これにより、それぞれの電流が供給された電機子コイル34が発熱する。電機子コイル34はベース32内部に移動面に沿って配置され、その電機子コイルの移動面側に層流状態で第1の流体が流れる第1の流体通路62が、移動面と反対側に遷移流状態で第2の流体が流れる第2の流体通路64がそれぞれ設けられている。このため、第1流体の流れの中に温度境界層が形成され、電機子コイル34の熱が移動面へ伝達されるのが効果的に防止されるとともに、第2流体と固定子ヨーク58との熱伝達率が大きくなって第2流体により電機子コイル34を効率的に除熱することが可能となる。
請求項（抜粋）：
所定の移動面に沿って移動する移動装置と;前記移動装置と対向する側に前記移動面が形成された固定装置とを備え、前記移動装置と前記固定装置との一方が磁極ユニットを有し、前記移動装置と前記固定装置との他方が、電機子コイルと、当該電機子コイルの前記移動面側に設けられた断熱室と前記電機子コイルの前記移動面と反対側に設けられた冷却室とを有することを特徴とする平面モータ装置。
IPC (5件)：
H02K 41/03 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H02K 3/24 ,  H02K 9/04
FI (6件)：
H02K 41/03 A ,  H01L 21/68 K ,  H02K 3/24 C ,  H02K 9/04 Z ,  H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 516 B
Fターム (73件)：
5F031CA07 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC09 ,  5F046CC10 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20 ,  5F046DA04 ,  5F046DA26 ,  5H603AA12 ,  5H603AA13 ,  5H603BB09 ,  5H603BB15 ,  5H603CA01 ,  5H603CA02 ,  5H603CA05 ,  5H603CB01 ,  5H603CC14 ,  5H603CC19 ,  5H609BB03 ,  5H609BB08 ,  5H609PP02 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ02 ,  5H609QQ04 ,  5H609QQ05 ,  5H609QQ07 ,  5H609QQ10 ,  5H609QQ16 ,  5H609RR01 ,  5H609RR32 ,  5H609RR38 ,  5H609RR41 ,  5H609RR46 ,  5H609RR51 ,  5H609RR69 ,  5H609RR71 ,  5H609RR73 ,  5H609RR74 ,  5H609SS06 ,  5H609SS21 ,  5H609SS23 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB18 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641HH13 ,  5H641HH14 ,  5H641JA06 ,  5H641JB03 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05 ,  5H641JB09 ,  5H641JB10
引用特許：
審査官引用 (2件)

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