特許

J-GLOBAL ID：200903025401142426

弾性表面波素子用基板及びそれを用いた弾性表面波素子

発明者： 井上 真司
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-390231
公開番号（公開出願番号）：特開2003-198322
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】 良質で均一な特性を高歩留りで達成する弾性表面波素子用基板及びそれを用いた弾性表面波素子を提供すること。【解決手段】 タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム単結晶、またはランガサイト型結晶構造を有する単結晶から成るとともに、酸によるエッチングで現れる、幅0.2〜2μmでかつ長さ0.2μm以上の線状欠陥の密度が5本/cm2以下であることを特徴とする弾性表面波素子用基板とし、この弾性表面波素子用基板に弾性表面波を発生させる励振電極を形成して成る弾性表面波素子とする。

請求項（抜粋）：

タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム単結晶、またはランガサイト型結晶構造を有する単結晶から成るとともに、酸によるエッチングで現れる、幅0.2〜2μmでかつ長さ0.2μm以上の線状欠陥の密度が5本/cm2以下であることを特徴とする弾性表面波素子用基板。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 3/08

Fターム (8件)：

5J097AA32 ,  5J097BB11 ,  5J097EE09 ,  5J097FF05 ,  5J097GG01 ,  5J097GG03 ,  5J097GG04 ,  5J097KK01