特許
J-GLOBAL ID：200903025401159841
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031368
公開番号（公開出願番号）：特開平9-203740
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】 測定対象箇所を特定する光学顕微鏡が併用された走査型プローブ顕微鏡で、探針を交換したときに、探針と光学顕微鏡の位置合せを容易、安価かつ確実に行う。【解決手段】 XY平面内で試料を変位させるXYステージ12と、試料表面を測定するように設けられた探針23とを備え、さらに、探針を真上位置から観察できる第1の光学顕微鏡19と、第1の光学顕微鏡から既知の一定距離の位置に配置された第2の光学顕微鏡21と、探針の位置を調整する探針位置決め機構18を備える。第1の光学顕微鏡には作動距離が大きなものが使用され、第2の光学顕微鏡には高倍率であって作動距離が小さいものが使用される。
請求項（抜粋）：
平面内で試料を変位させる移動手段と、前記試料の表面を測定するように設けられた探針を備える走査型プローブ顕微鏡において、前記探針を常に上方の一定位置から観察できるように配置された第1の光学顕微鏡と、前記探針から離れた位置であって前記第1の光学顕微鏡から既知の一定距離の位置に配置された第2の光学顕微鏡と、前記探針の位置を調整する探針位置決め手段とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G02B 21/00
, H01J 37/28
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
, G02B 21/00
, H01J 37/28 Z
