特許
J-GLOBAL ID：200903025409017736
ターボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-081100
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274188
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：
【要約】【課題】 軸受付近の高温化を防止して、駆動軸と軸受とが溶着しないターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 ターボ分子ポンプにおいて、磁気浮上異常時若しくは停止時には駆動軸1を玉軸受7、8で支持するが、排気用翼体2を備えた駆動軸1の回転エネルギーによる熱は、玉軸受7、8を構成する金属製ボールを伝わって、ターボ分子ポンプ本体に逃げる。
請求項（抜粋）：
排気用翼体およびモータのロータを有する回転体を磁気軸受により磁気浮上支持すると共に、磁気浮上異常時若しくは停止時には回転体を保護軸受で支持するターボ分子ポンプにおいて、前記保護軸受としてセラミック製ボールと金属製ボールとからなる玉軸受を用いたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04D 19/04 B
, F16C 19/32
