変位および変位速度測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-058717
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273432
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】変位の向きを含む変位量および変位速度を高速に測定できる装置を提供する。【構成】レーザ光源100から出射したビームは被測定体700に入射し、その透過光は結像レンズ系200を経由して、偏光板301によって特定の偏向成分のみが選択的に透過され、偏波面回転素子であるTN型液晶パネル302に結像される。第1の時刻では駆動装置304を「ON」状態とし、第2の時刻では「OFF」として複屈折板303を介することにより、二つの時刻の像に既知の相対的な偏位を与え、重ね合わせてCCDカメラで撮像する。この撮像データを画像処理装置520に取り込み後、計算機530によって、このデジタル化画像データに対して合同変換相関演算を実行し、相関値がピークとなる原点以外の座標値を求め、変位および変位速度を計算する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源と、前記レーザ光源が出射するレーザ光の被測定体の照射によって生じる前記被測定の特性を反映する2次元光像に、空間的に一様な第1の量および第2の量の偏位を選択的に施す偏位手段と、前記第1の量の偏位を施した第1の時刻における前記2次元光像と、前記第2の量の偏位を施した第2の前記2次元光像と、を重ね合わせた像を記録する撮像装置と、前記撮像装置に記録された光像に対して合同変換相関演算を施す演算装置と、を含んで構成され、前記演算装置の演算結果から、前記被測定体の前記第1の時刻と前記第2の時刻との間に発生した変位と、前記第1の時刻と前記第2の時刻との間の平均変位速度を求めることを特徴とする変位および変位速度測定装置。

IPC (2件)：

G01P 3/80 , G02B 26/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-191166
特開平3-108735
特開昭62-262354

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