特許

J-GLOBAL ID：200903025413961759

物理量検出装置

発明者： 橋本 雅人 ,  長尾 勝 ,  千田 英美 ,  瀬川 勉 ,  横山 敦子 ,  千田 和身 ,  岡山 倫久
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 大庭 咲夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-365166
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183139
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 角速度検出素子が収容された密閉空間内の圧力変動にかかわらず、角速度検出装置の検出特性を良好な値に維持すること。【解決手段】 角速度検出装置は、密閉空間内にて基板10上に振動可能に支持された振動子20を駆動電極部51-1〜51-4によりX軸方向に振動させ、角速度が作用したときに発生するコリオリ力により同振動子のY軸方向の振動を検出電極53-1〜53-4により検出する。サーボアンプ76は、振動子のX軸方向の振幅が一定となるように出力電圧E0X’を発生する。この出力電圧は、前記密閉空間の圧力を表す値となっていて、サーボアンプ79は、出力電圧E0X’が一定となるように電圧ERCを変更し、これを離調調整電極54-1〜54-4にを印加する。この結果、振動子の検出振動共振周波数が変更され、同振動子の駆動周波数におけるゲイン(実効検出振動Q値)が一定に維持される。

請求項（抜粋）：

密閉空間内で基板に変位可能に支持された可動部と、前記可動部が外力を受けたときに同可動部に生じる変位に応じた量を検出する変位検出手段とを備え、前記変位検出手段の検出値を出力する物理量検出装置において、前記可動部を所定方向に所定の駆動周波数にて振動させる駆動手段と、前記密閉空間の圧力に応じた量を検出する圧力検出手段と、指示信号に応じて前記駆動周波数における前記可動部の検出振動のゲインを変更するゲイン変更手段と、前記検出された密閉空間の圧力に応じた量に基づいて前記ゲイン変更手段に前記指示信号を出力するゲイン変更指示手段とを備えたことを特徴とする物理量検出装置。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 B

Fターム (18件)：

2F105BB04 ,  2F105BB09 ,  2F105BB17 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13 ,  4M112AA01 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112BA08 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA32 ,  4M112CA36 ,  4M112EA02 ,  4M112GA03