強誘電体素子

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-177003
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026833
出願日： 1997年07月02日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】強誘電体膜において、粒径の異なる微粒子を同一膜内に同時に存在させることにより、従来よりも膜密度の高い強誘電体膜を提供する。【解決手段】金属アルコキシドを主原料とした強誘電体ゾルゲル溶液に特定のバインダーを添加することにより、ゾルゲル反応を進行させ同一溶液内に特定の形状及び大きさの強誘電体微粒子を生成する。この混合ゾル内に、金属重量%の異なる強誘電体ゾルゲル溶液を添加し、撹拌することにより、同一溶液内に微粒子径の異なる強誘電体微粒子が生成する。この混合ゾルを基板に塗布し、乾燥、焼成することによって、従来よりも膜密度の高い強誘電体薄膜を作成することができる。

請求項（抜粋）：

金属アルコキシドを主原料とするゾルゲル法による強誘電体素子の製造において、濃度の異なる原料に同一バインダーを混合し、それぞれを混合することを特徴とする強誘電体素子。

IPC (3件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

H01L 41/08 C , B41J 3/04 103 A

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