特許

J-GLOBAL ID：200903025430539483

仮止め用接着剤

発明者： 岩崎 孝 ,  中村 寛 ,  藍原 嗣子
出願人/特許権者： 日化精工株式会社
代理人 (1件)： 井上 清子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034222
公開番号（公開出願番号）：特開平7-224270
出願日： 1994年02月08日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【対象】 シリコンウエーハ等をポリッシング加工等する際に、プレートや冶具等に仮止め、固定するために使用する接着剤に関する。【目的】 シリコンウエーハ等をプレートや冶具等に確実に仮止め、固定することができ、また加工処理の洗浄に危険性、公害などが無く、安全かつ容易に剥離、除去できる接着剤を得る。【構成】 ポリグリセリンの脂肪酸エステル、ポリグリセリンのエチレンオキシドの付加物、ポリグリセリンのプロピレンオキシドの付加物を接着剤の有効成分として用いる。この接着剤は、上記成分を単独で、または組み合わせて得られ、そのHLB値は7〜13である。この接着剤は、常温水に難溶で、温水に可溶である。上記加工処理時には常温水を自由に使うことができ、加工処理後温水によって接着剤を溶かし、シリコンウエーハ等をプレートや冶具から剥がし、きれいに洗浄できる。

請求項（抜粋）：

HLB値7〜13のポリグリセリンの脂肪酸エステル、ポリグリセリンのエチレンオキサイド付加物又はポリグリセリンのプロピレンオキサイド付加物の1種またはこれらの混合物を有効成分とする水に難溶で温水に容易に溶解することを特徴とする仮止め用接着剤。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-292994
  
• 水溶性マスク用粘着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-180916   出願人：積水化学工業株式会社
• 特開平3-079671