特許

J-GLOBAL ID：200903025458107325

表面形状検査方法およびその装置

発明者： 宇野 真彦 ,  笹井 浩之
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-036755
公開番号（公開出願番号）：特開2003-240539
出願日： 2002年02月14日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【課題】 表面勾配から3次元形状を復元するなどの高価な計算コストをかけずに、表面勾配データを直接に用いて高速、高精度に表面形状検査を行う。【解決手段】 検査対象物体の各点において表面勾配を計測して計測結果をマップ化する表面勾配マップ作成手段30を用いて、あらかじめ基準品である対象物体の表面勾配マップを基準データベース40に保存しておき、検査時には、表面勾配マップ作成手段30を用いて作成した検査対象物体の表面勾配マップと、基準品の表面勾配マップを比較手段50において比較し、その比較出力を判定手段70において判定することにより、検査対象物体の良否を判定し、比較手段50では、表面勾配を表面の単位法線ベクトルである表面法線ベクトルで表現し、マップ上の各点で基準品の表面法線ベクトルと検査対象物体の表面法線ベクトルの成す角度を求め、その総和を計算して比較出力とする。

請求項（抜粋）：

検査対象物体の各点において表面勾配を計測し、その計測結果をマップ化して表面勾配マップを作成する第1の工程と、あらかじめ基準品である対象物体の表面勾配マップを基準データベースに保存する第2の工程と、上記第1の工程で作成した検査対象物体の表面勾配マップと、上記第2の工程で保存した基準品の表面勾配マップとを比較する第3の工程と、該第3の工程における比較結果を用いて上記検査対象物体の良否を判定する第4の工程とを含み、上記第3の工程では、表面勾配を表面の単位法線ベクトルである表面法線ベクトルで表現し、マップ上の各点で上記基準品の表面法線ベクトルと上記検査対象物体の表面法線ベクトルの成す角度を求め、その総和を計算して出力することを特徴とする表面形状検査方法。

IPC (2件)：

G01B 21/22 ,  G01B 11/26

FI (2件)：

G01B 21/22 ,  G01B 11/26 H

Fターム (25件)：

2F065AA35 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065CC26 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065RR05 ,  2F065RR08 ,  2F069AA77 ,  2F069BB13 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069NN00 ,  2F069NN15 ,  2F069NN20