特許

J-GLOBAL ID：200903025460510889

高熱伝導性窒化アルミニウム固形体の製造方法

発明者： 小鷹 啓章 ,  山岡 秀典
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 赤野 牧子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-308754
公開番号（公開出願番号）：特開平10-139407
出願日： 1996年11月05日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：

【要約】【課題】 アルミナ原料から窒化処理して得られる窒化アルミニウムの熱伝導性を向上させる。【解決手段】 γ-Al2 O3 系化合物と、該γ-Al2 O3 系化合物のAl2O3 換算重量に対して周期律表IIa族またはIIIa族金属化合物の酸化物換算で1〜30重量%との混合物から形成される固形体を、酸素含有ガス雰囲気下で約600〜1000°Cで加熱処理した後、アンモニアと炭化水素の混合ガス雰囲気下、1400〜1700°Cで加熱処理して窒化することを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム固形物の製造方法。γ-Al2 O3 系化合物は、γ-Al2 O3 質前駆体を含有する溶液が好ましく、IIa族またはIIIa族金属化合物は、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、イットリウム、ランタンまたはセリウムの塩化物、炭酸塩、硝酸塩またはアルコキシドが好ましい。

請求項（抜粋）：

γ-Al2 O3 系化合物と、該γ-Al2 O3 系化合物のAl2 O3 換算重量に対して周期律表IIa族またはIIIa族金属化合物の酸化物換算で1〜30重量%との混合物から形成される固形体を、酸素含有ガス雰囲気下で約600〜1000°Cで加熱処理した後、アンモニアと炭化水素の混合ガス雰囲気下、1400〜1700°Cで加熱処理して窒化することを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム固形体の製造方法。

IPC (3件)：

C01B 21/072 ,  C04B 35/581 ,  H01L 23/373

FI (4件)：

C01B 21/072 G ,  C04B 35/58 104 P ,  C04B 35/58 104 V ,  H01L 23/36 M