特許

J-GLOBAL ID：200903025461900230

圧電振動ジャイロ用振動子およびその製造方法

発明者： 吉田 哲男 ,  石川 寿洋
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258167
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 接着剤による接着工程および入出力にリード線を廃止し、簡単な構造で特性変動を回避できる。【解決手段】 分極の向きが互いに逆向きの二枚の同形板状の水晶体を用いた圧電体を加圧かつ加熱してほぼ原子レベルで接合した一つの基板を、エッチングまたはサンドブラストなどにより柱状振動体10、支持部31〜34、および支持枠40を二つの平面を有する板状に一体成型している。また、支持枠40の中央空間に位置する柱状振動体10の帯状電極61、62、63から支持枠40の電極21、22、23への導電路71、72、73の接続には、それぞれ別個の、支持部31の両面および支持部33それぞれの一表面が用いられ、電極それぞれは、一体化した所定のパターンをエッチングにより形成されている。

請求項（抜粋）：

分極の向きが互いに逆向きの二枚の同形板状の圧電体を接合して四角柱を形成する柱状振動体と、この柱状振動体の接合面に平行な一方の主平面に接合するものであって前記柱状振動体の長さ方向に伸びると共に信号引き出し口の駆動電極に接続する駆動帯状電極と、前記柱状振動体の接合面に平行な他方の主平面に接合するものであって前記柱状振動体の長さ方向で中心線に対称にかつ平行に配置されると共に信号引き出し口の検出電極に接続する二つの検出帯状電極とを備えることを特徴とする圧電振動ジャイロ用振動子。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z

Fターム (9件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB12 ,  2F105BB15 ,  2F105CC06 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13 ,  2F105CD20