特許

J-GLOBAL ID：200903025478304640

エッチング液

発明者： 小林 弘之 ,  森田 悦郎 ,  龍田 次郎 ,  島貫 康
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社 ,  三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 松井 政広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-273271
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206105
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【構成】 NH4OH、H2O2およびH2Oを含有するアルカリ性シリコンウェーハエッチング液において、H2O2が1/30重量%以下であり、かつ対NH4OH重量濃度比(H2O2/NH4OH)が1/10以下であることを特徴とするエッチング液。【効果】 本発明によれば、NH4OHをエッチング成分とするアルカリ性エッチング液のエッチング速度を大きく改善することができる。また、エッチングを飽和速度で行なうことにより安定したエッチングを行なうことが可能となる。さらに、上記飽和速度をH2O2濃度で制御することにより、所望の速度でエッチングを行なうことができる。

請求項（抜粋）：

NH4OH、H2O2およびH2Oを含有するアルカリ性シリコンウェーハエッチング液において、H2O2が0.6重量%以下であり、かつ対NH4OH重量濃度比(H2O2/NH4OH)が1/10以下であることを特徴とするエッチング液。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭60-233824