特許
J-GLOBAL ID：200903025480957561
IC試験装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-099095
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288645
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 ?@1台のハンドラに2つのテストステーション(TS)を設ける場合及び?A2台のハンドラを設ける場合において、テスタの最大同測待ち時間Tmaxが不適当のため、片方のみの測定になるのを防止する。【解決手段】 同測モードを設け、?@の場合、ハンドラは、一方のTSの準備がOKで、他方の準備がOKで無い場合は、他方の準備がOKになるのを待ってから両TSの準備OK信号をテスタに送信する。?Aの場合には、マスター側ハンドラとスレーブ側ハンドラ同士が直接通信するための通信路を設け、マスタ側が常時スレーブ側を監視し、同測モードの場合に、マスター側では、一方のハンドラの準備がOKで、他方のハンドラの準備がOKで無い場合に、他方のハンドラの準備がOKになるのを待って、両ハンドラよりテスタに準備OK信号を送信する。
請求項（抜粋）：
1台のテスタと1台のハンドラより成り、そのハンドラに、DUT(被試験IC)に対する第1次の測定を行う第1テストステーション(以下TS1と言う)と、第2次の測定を行う第2テストステーション(TS2と言う)とが設けられ、前記テスタは、一方のテストステーションのテスト準備がOKとなった場合に、他方のテストステーションの準備がOKとなるのを最大同測待ち時間(Tmax)を限度に待ち、もしOKになれば両テストステーションで同時測定を行い、OKにならなければ一方のテストステーションのみで測定を行うようにしたIC試験装置において、同測モードを入力する手段を前記ハンドラに設け、前記ハンドラは、同測モードのとき、TS1の準備がOKで、TS2の準備がOKで無い場合に、TS2にテストトレイがあれば、TS2の準備がOKになるまで待って、TS1及びTS2の準備OK信号を前記テスタに送信し、テストトレイが無ければ待たずにTS1の準備OK信号のみを前記テスタに送信し、TS2の準備がOKで、TS1の準備がOKで無い場合に、ローダ乃至TS1にテストトレイがあれば、TS1の準備がOKになるまで待って、TS1及びTS2の準備OK信号を前記テスタに送信し、テストトレイが無ければ待たずにTS2の準備OK信号を前記テスタに送信することを特徴とするIC試験装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/66
G01R 31/26 Z
, H01L 21/66 G
, G01R 31/28 H
