特許
J-GLOBAL ID：200903025481616423
偏光解析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-016840
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210635
出願日： 1996年02月01日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、試料の位置を調整をすること無く、試料の交換を容易に行うことができる偏光解析装置を提供する。【解決手段】 光源1と、偏光ビームスプリッタ2と、λ/2プリズム4と、偏光ビームスプリッタ2に入射した光を検出する光電検出器5とを有する偏光解析装置において、光源1と偏光ビームスプリッタ2とλ/2プリズム4とを固定して一体化するとともに、偏光ビームスプリッタ2とλ/2プリズム4との間に亘る空間19を有する支持枠体15と、支持枠体15を接合状態で固定するステージ14と、支持枠体15とステージ14との接合領域において空間19に臨む状態で形成された試料支持体11装着用のスペース21と、スペース21の支持枠体15側の端面に形成した基準面20とを備え、基準面20に試料3a、3bを支持する試料支持体11を当て付けつつこの試料支持体11を前記スペース21に対し挿脱可能にしたものである。
請求項（抜粋）：
光源と、該光源からの光を偏光にし、試料支持体により支持された試料の一部に入射する偏光子と検光子を兼ねた光学素子と、前記試料の一部で反射された反射光のp偏光及びs偏光の位相差をπにし、かつ、前記反射光を前記試料の一部とは異なった部分に入射するとともに、この異なった部分で反射した光を前記光学素子に再び入射するλ/2プリズムと、前記光学素子に再び入射した光を検出する光検出手段と、を有する偏光解析装置において、前記光源と前記光学素子と前記λ/2プリズムとを固定して一体化するとともに、前記光学素子とλ/2プリズムとの間に亘る光の往復光路を有する支持枠体と、この支持枠体を接合状態で固定する基台と、この支持枠体と基台との接合領域において前記光の往復光路に臨む状態で形成された前記試料支持体装着用の装着空間と、この装着空間の前記支持枠体側の端面に形成した基準面とを備え、前記基準面に試料を支持する試料支持体を当て付けつつこの試料支持体を前記装着空間に対し挿脱可能にしたことを特徴とする偏光解析装置。
IPC (3件)：
G01B 11/06
, G01N 21/21
, G01N 33/543 595
G01B 11/06 G
, G01N 21/21 Z
, G01N 33/543 595
