特許

J-GLOBAL ID：200903025484010488

投影光学系

発明者： 芝山 きみ子 ,  森 征雄 ,  松浦 睦彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコンエンジニアリング ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-185656
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010427
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】十分に長いワーキングディスタンスを有し、しかも解像力の高い投影光学系を提供する。【解決手段】一端側より順に負屈折力の前群Fと正屈折力の後群Rとからなり、前群Fは一端側より順に正レンズL1と負メニスカスレンズL2とを有し、後群Rは一端側より順に、一端側に凹面を向けたメニスカスレンズL3と、一端側に凹面を向けた負接合メニスカスレンズL4、L5と、複数枚の正レンズL6、L7、L8とを有し、所要の条件を満たす。

請求項（抜粋）：

一端側より順に、負屈折力の前群(F)と、正屈折力の後群(R)とからなり、前記前群(F)は前記一端側より順に、正レンズ(L<SB>1</SB>)と、負メニスカスレンズ(L<SB>2</SB>)とを有し、前記後群(R)は前記一端側より順に、該一端側に凹面を向けたメニスカスレンズ(L<SB>3</SB>)と、前記一端側に凹面を向けた負接合メニスカスレンズ(L<SB>4</SB>、L<SB>5</SB>)と、複数枚の正レンズ(L<SB>6</SB>、L<SB>7</SB>、L<SB>8</SB>)とを有し、r<SB>A</SB>:前記メニスカスレンズ(L<SB>3</SB>)の一端側レンズ面の曲率半径r<SB>B</SB>:前記メニスカスレンズ(L<SB>3</SB>)の他端側レンズ面の曲率半径D:前記メニスカスレンズ(L<SB>3</SB>)の中心厚n<SB>4</SB>:前記負接合メニスカスレンズの一端側レンズ(L<SB>4</SB>)の屈折率n<SB>5</SB>:前記負接合メニスカスレンズの他端側レンズ(L<SB>5</SB>)の屈折率としたとき、|r<SB>A</SB>|<|r<SB>B</SB>| ....(1)D>|r<SB>A</SB>| ....(2)n<SB>4</SB>>n<SB>5</SB> ....(3)の各条件を満足する投影光学系。

IPC (3件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/04 ,  H04N 5/74

FI (3件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/04 C ,  H04N 5/74 A